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      激光行業用氣體

      準分子激光氣

      準分子激光氣
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      產品名稱:

      準分子激光氣

      其他名稱:

      Excimer Laser Gases

      分子式:

      ArF、KrF、XeCl

      UN NO.:

      UN 1956

      CAS NO.:

      產品純度:

      99.9999%

      包裝說明:

      10L、16L、20L、49L、50L

      產品名稱:準分子激光氣體(Excimer Laser Gases)
      其他名稱:氟化氬激光氣體(193nm);氟化氪激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
      產品類型: ArF,KrF,XeCl,5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne
      UN NO.: UN1956
      鋼瓶容積: 11L,16L,20L,49L,50L
      閥門型號:CGA679,DIN 8,DIN 14
      高功率準分子激光氣體
      可用波長
      193 nm
      ArF
      248 nm
      KrF
      308 nm
      XeCl
      450nm~520nm
      XeF
      最大紫外功率
      540 W
      最大紫外能量
      1100 mj
      重復頻率
      可變, 1~600 Hz
      脈沖穩定性
      0.5%~1%,rms
      長期漂移
      0.1%~0.5%,rms
      光束分布
      均勻,平頂
      脈沖寬度
      10~20 ns
      相關氣體純度
      F2,   99.9%
      Ar,   99.9999%
      He,  99.9999%
      Ne,  99.9999%
      HCl, 電子級
      Kr,   99.999%
      Xe,  99.999%
      O2,  99.999%
      H2,  99.999%
      氣體工作溫度
      - 40 0C ~ + 74 0C
      氣體壓力
      520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar
      鋼瓶規格
      10L、16L、20L、50L
      閥門接口
      CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14
      安全手冊
      請在本公司網站閱讀或下載。
       
      本產品適用于近視眼矯正手術、白癜風治療等醫療應用:
      適用機型
      波長
      nm
      鋼瓶規格
      閥門規格
      工作氣體
      鷹視(COHERENT)
      193
      20 L
      DIN 8
      F2,   99.9%
      Ar,   99.9999%
      He,  99.9999%
      Ne,  99.9999%
      博士倫(B & L)
      193
      20 L、50 L
      DIN 8
      蔡司(ZEISS)
      193
      10L、20 L
      DIN 8
      威視(VISX)
      193
      16 L
      CGA 679
      尼德克(NIDEK)
      193
      16 L
      CGA 679
      雷賽(LASERSIGHT)
      193
      10 L
      CGA 679
      愛爾康(Alcon)
      193
      16 L
      CGA 679
      康奧(SCHWIND)
      193
      20 L
      DIN 8、 DIN 14
      視可佳(六六視覺)
      193
      16 L
      CGA 679
      森美(SUMMIT)
      193
      16 L
      CGA 679
      科醫人(COHERENT)
      308
      8 L
      CGA 330
      HCl,電子級
      Xe,99.9995%
      Ne,99.9999%
      美國  Photomedex
      308
      8 L
      CGA 330
      工業技術的升級轉型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準分子激光的誕生,以其高光子能量所稱著,在對突破材料限制需求越來越迫切的時代,準分子激光器再次站在了尖端工業激光解決方案的最前沿。作為當今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術的代表,準分子激光器有效地推進了諸如半導體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫療、光纖、鉆石打標設備及可替代能源等多種成長型工業中的技術革新。
      品 牌
      機 型
      波 長
      工作氣體
      ATL
      ATL ARF-1
      193 nm
      F2,Ar,Xe,Ne
      ATL KRF-1
      248 nm
      F2,Kr,Xe,Ne
      TUI
      CTFTS-ARFV 2.2
      193 nm
      F2,Ar,He,Ne
      CTFTS-KRFV 2.1
      248 nm
      F2,Kr,He,Ne
      CTFTS-KRFV 2.2
      248 nm
      F2,Kr,He,Xe,Ne
      CTMD-ARFV 2.0
      193 nm
      F2,Ar,He,O2,Ne
      CTMD-XECLV 2.1
      308 nm
      HCl,H2,Xe,Ne
      CTMN-ARFV 2.0
      193 nm
      F2,Ar,He,Ne
      CTMN-ARFV 2.1
      193 nm
      F2,Ar,He,Ne
      CTMN-KRFV 1.0
      248 nm
      F2,Kr,He,Ne
      CTMN-KRFV 2.0
      248 nm
      F2,Kr,He,Ne
      CTMN-XECLV 2.0
      308 nm
      HCl,H2,Xe,Ne
      CTMN-XECLV 5.0
      308 nm
      HCl,H2,Xe,Ne
      CTMN-XEFV 1.1
      450nm~520nm
      F2,Xe,He,Ne
      CTMN-XEFV 1.2
      450nm~520nm
      F2,Xe,He,Ne
      GAM Laser
      EX5 ArF
      193 nm
      F2,Ar,He,O2,Ne
      EX5 KrF
      248 nm
      F2,Kr,He,Ne
      EX5 XeCl
      308 nm
      HCl,H2,Xe,Ne
      EX10
      193 nm
      F2,Ar,He,Ne
      EX50
      193 nm
      F2,Ar,He,Ne
      EX100
      193 nm
      F2,Ar,He,Ne
      Photomedex
      XeCl
      308 nm
      HCl,Xe,Ne
      Photoscribe
      ArF
      193 nm
      F2,Ar,Ne
      KrF
      248 nm
      F2,Kr,Ne
      Potomac
      Photonics
      ArF
      193 nm
      F2,Ar,Ne
      KrF
      248 nm
      F2,Kr,Ne
      Spectranetics
      XeCl
      308 nm
      HCl,H2,Xe,Ne
      注意事項:準分子激光氣體為高壓充裝氣體,使用時應經減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限,凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗,方能繼續使用。每瓶氣體在使用到尾氣時,應保留瓶內余壓在0.5MPa,最小不得低于0.25MPa余壓,應將瓶閥關閉,以保證氣體質量和使用安全。瓶裝氣體產品在運輸儲存、使用時都應分類堆放,嚴禁可燃氣體與助燃氣體堆放在一起,不準靠近明火和熱源,應做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊,嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧,嚴禁野蠻裝卸。

      產品性質說明

      技術指標

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